By ΠΠΊΡΡΡΠΈΠ½ Π .Π₯. , β¦
ΠΠ°Π½Π½Π°Ρ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ° ΠΏΠΎΡΠ²ΡΡΠ΅Π½Π° ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ° ΠΠΠ‘-Π³ΠΈΠ΄ΡΠΈΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΡΠΏΠΈΡΠ°ΠΊΡΠΈΠΈ, ΠΊΠ»ΡΡΠ΅Π²ΠΎΠΉ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄ΠΎΠ²ΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ². ΠΡΠΎΠ±ΠΎΠ΅ Π²Π½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ ΡΡΠΎΠΉ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΈΠΊΠΈ Π² ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ ΡΠΎΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ ΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ. Π Π°ΡΡΠΌΠ°ΡΡΠΈΠ²Π°ΡΡΡΡ ΡΡΠ½Π΄Π°ΠΌΠ΅Π½ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ Π°ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ°, Π²ΠΊΠ»ΡΡΠ°Ρ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΈΠΈ ΠΈ ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΠ·ΠΌΡ ΡΠΎΡΡΠ° ΡΠ»ΠΎΠ΅Π². ΠΠ½Π°Π»ΠΈΠ·ΠΈΡΡΡΡΡΡ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΠΠ‘-Π³ΠΈΠ΄ΡΠΈΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΡΠΏΠΈΡΠ°ΠΊΡΠΈΠΈ Π΄Π»Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² Ρ Π·Π°Π΄Π°Π½Π½ΡΠΌΠΈ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°ΠΌΠΈ, Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΡΠΌΠΈ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΈ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ².
This work explores the process of Metalorganic Chemical Vapor Deposition (MOCVD) epitaxy, a crucial technology for developing advanced materials. It focuses on the application of this method in photonics and electronics. The study examines fundamental aspects of the process, including chemical reactions and layer growth mechanisms. It analyzes the capabilities of MOCVD epitaxy for producing materials with specific properties required for modern electronic and optical devices.